Fochtigens is in gewoane miljeukontrôlebetingst by it operearjen fan skjinne keamers. De doelwearde fan relative fochtigens yn 'e skjinne keamer fan healgeleiders wurdt kontroleare om yn it berik fan 30 oant 50% te wêzen, wêrtroch't de flater binnen in smel berik fan ± 1% kin wêze, lykas in fotolitografysk gebiet - of sels lytser yn it fier-ultraviolette ferwurkingsgebiet (DUV). - Op oare plakken kinne jo ûntspanne oant binnen ± 5%.
Omdat relative fochtigens in oantal faktoaren hat dy't kinne bydrage oan 'e algemiene prestaasjes fan' e skjinne keamer, ynklusyf:
● baktearjegroei;
● It berik fan komfort dat it personiel fielt by keamertemperatuer;
● Statyske lading ferskynt;
● metaalkorrosje;
● Wetterdampkondensaasje;
● degradaasje fan litografy;
● Wetteropname.
Baktearjes en oare biologyske fersmoargjende stoffen (skimmels, firussen, fungi, mijten) kinne har aktyf fermannichfâldigje yn omjouwings mei in relative fochtigens boppe de 60%. Guon flora kin groeie as de relative fochtigens mear as 30% is. As de relative fochtigens tusken de 40% en 60% leit, kinne de effekten fan baktearjes en luchtweginfeksjes minimalisearre wurde.
Relative fochtigens yn it berik fan 40% oant 60% is ek in beskieden berik wêryn minsken har noflik fiele. Oermjittige fochtigens kin minsken depressyf fiele litte, wylst fochtigens ûnder 30% minsken droech, barstich, sykheljensûngemak en emosjoneel ûngemak jaan kin.
Hege fochtigens ferminderet eins de opgarjen fan statyske lading op it oerflak fan 'e skjinne keamer - dit is it winske resultaat. Legere fochtigens is geskikter foar ladingopgarjen en in potinsjeel skealike boarne fan elektrostatyske ûntlading. As de relative fochtigens mear as 50% is, begjint de statyske lading rap te ferdwinen, mar as de relative fochtigens minder as 30% is, kinne se lange tiid oanhâlde op 'e isolator of it net-grûne oerflak.
In relative fochtigens tusken 35% en 40% kin in befredigjend kompromis wêze, en skjinne keamers foar healgeleiders brûke typysk ekstra kontrôles om de opgarjen fan statyske lading te beheinen.
De snelheid fan in protte gemyske reaksjes, ynklusyf it korrosjeproses, sil tanimme as de relative fochtigens tanimt. Alle oerflakken dy't bleatsteld wurde oan 'e loft om 'e skjinne keamer hinne wurde fluch bedekt mei teminsten ien ienlaach wetter. As dizze oerflakken besteane út in tinne metalen coating dy't mei wetter reagearje kin, kin hege fochtigens de reaksje fersnelle. Gelokkich kinne guon metalen, lykas aluminium, in beskermjende okside foarmje mei wetter en fierdere oksidaasjereaksjes foarkomme; mar in oar gefal, lykas koperokside, is net beskermjend, dus yn omjouwings mei hege fochtigens binne koperen oerflakken gefoeliger foar korrosje.
Derneist wurdt de fotoresist yn in omjouwing mei hege relative fochtigens útwreide en ferswakke nei de baksyklus troch de opname fan focht. De hechting fan fotoresist kin ek negatyf beynfloede wurde troch hegere relative fochtigens; in legere relative fochtigens (sawat 30%) makket de hechting fan fotoresist makliker, sels sûnder de needsaak foar in polymearmodifikator.
It kontrolearjen fan relative fochtigens yn in skjinne keamer foar healgeleiders is net willekeurich. Mei de tiid is it lykwols it bêste om de redenen en fûneminten fan mienskiplike, algemien akseptearre praktiken te besjen.
Fochtigens is miskien net bysûnder merkber foar ús minsklik komfort, mar it hat faak in grutte ynfloed op it produksjeproses, foaral dêr't de fochtigens heech is, en fochtigens is faak de minste kontrôle, dêrom hat fochtigens de foarkar by de temperatuer- en fochtigenskontrôle fan 'e skjinne keamer.
Pleatsingstiid: 1 septimber 2020